簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Fuh-Yu Chang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="紫外光"


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    紫外光DMD無光罩微影系統之發展
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 蒲鑫達   指導教授： 鄭正元
    • 先前台灣科技大學光電加工實驗室之顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統（Maskless Photolithography System）之解析度僅能到…
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